L'hexasilane est un composé chimique de formule Si6H14. Ce silane est l'analogue structurel silicié du n-hexane C6H14. Il se présente sous la forme d'un liquide incolore qui réagit avec l'eau[4]. Contrairement aux silanes plus courts, il ne s'enflamme pas immédiatement à l'air, même à 0 °C, mais seulement après un certain temps[5]. Il n'est pas très stable thermiquement et tend à se décomposer en hydrogène H2 et silanes plus courts dès la température ambiante ; il se forme également des polymères[6].
L'observation d'hexasilane a été publiée pour la première fois par Carl Somieski[7]. Ce composé peut être obtenu sous la forme d'un mélange de silanes en faisant réagir du siliciure de magnésium Mg2Si avec des acides minéraux à l'abri de l'air[8],[9] ou du monosilane à l'aide d'une décharge électrique.
L'hexasilane peut être utilisé pour déposer des couches minces de silicium dans l'industrie des semiconducteurs[10].
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