Đây là loại hình đơn vị hành chính mới có từ năm 2013. Trước đó, theo Hiến pháp năm 1992[1], thành phố thuộc trung ương chỉ gồm ba loại hình đơn vị hành chính cấp huyện là quận, huyện và thị xã. Hiến pháp 2013[2] đã bổ sung đơn vị hành chính tương đương cấp huyện này nhằm tạo điều kiện tổ chức các mô hình cơ quan quản lý tại các đô thị có mức độ đô thị hóa cao ở Việt Nam. Cụ thể, Thành phố Hồ Chí Minh lúc bấy giờ đang xúc tiến thí điểm Đề án chính quyền đô thị mà trong cấu trúc có đơn vị hành chính thành phố thuộc Thành phố Hồ Chí Minh.[3]
Ngày 24 tháng 10 năm 2024, Ủy ban Thường vụ Quốc hội ban hành Nghị quyết số 1232/NQ-UBTVQH15[10] về việc sắp xếp đơn vị hành chính cấp huyện, cấp xã của thành phố Hải Phòng giai đoạn 2023 – 2025 (nghị quyết có hiệu lực từ ngày 1 tháng 1 năm 2025). Theo đó, thành lập thành phố Thủy Nguyên thuộc thành phố Hải Phòng trên cơ sở toàn bộ 261,91 km² diện tích tự nhiên; quy mô dân số 382.103 người của huyện Thủy Nguyên và điều chỉnh 7,19 km² diện tích tự nhiên khu vực đảo Vũ Yên tại phường Đông Hải 1 thuộc quận Hải An.
Sau khi thành lập, thành phố Thủ Đức có diện tích 211,56km² và quy mô dân số 1.013.795 người, có 34 phường trực thuộc. Còn thành phố Thủy Nguyên sau khi thành lập có diện tích 269,10km² và quy mô dân số 397.570 người, có 17 phường và 4 xã trực thuộc. Như vậy, hiện nay Thủ Đức và Thủy Nguyên là hai thành phố thuộc loại hình đơn vị hành chính thành phố thuộc thành phố trực thuộc trung ương.
Thành phố thuộc tỉnh có dân số đông nhất là Biên Hòa với 1.055.414 nhân khẩu. Đây cũng là đơn vị hành chính cấp huyện có dân số đông nhất cả nước, tương đương với dân số 2 đô thị loại I trực thuộc Trung ương là thành phố Đà Nẵng, Cần Thơ và cao gấp hơn 3 lần tỉnh có dân số ít nhất là Bắc Kạn với 301.000 nhân khẩu. Thành phố trực thuộc tỉnh có dân số ít nhất là Lai Châu với 42.973 người, chỉ tương đương với thị trấn Phan Rí Cửa (Tuy Phong, Bình Thuận) với dân số 45.805 người.
Thành phố thuộc tỉnh có diện tích lớn nhất là Hạ Long với 1.119,12 km², còn thành phố thuộc tỉnh có diện tích nhỏ nhất là Sầm Sơn với 44,94 km².
^Một số thành phố được mở rộng hoặc thành lập sau tổng điều tra năm 2019, bao gồm Thủ Đức, Thuận An, Huế, Dĩ An, Vinh, Tân Uyên, Thanh Hóa, Thủy Nguyên, Bắc Giang, Hạ Long.
^Không bao gồm dân số quy đổi (tính cả những người tạm trú).
Thành phố cấp 1 (municipalité de première classe) hay thành phố lớn (grande municipalité), thành lập theo Sắc lệnh của Tổng thống Pháp, gồm 3 thành phố:
Tuy nhiên có ý kiến cho rằng Sắc lệnh ngày 19/7/1888 là Sắc lệnh thành lập các Hội đồng thành phố Hà Nội và Hải Phòng, chứ không phải là thành lập các thành phố ấy)[11].
Thành phố cấp 2 (municipalité de deuxième classe) ngang cấp tỉnh, thành lập theo Nghị định của Toàn quyền Đông Dương (thời kỳ đầu thì của Thống đốc Nam Kỳ), gồm 3 thành phố:
Thành phố cấp 3 (commune), thành lập theo Nghị định của Toàn quyền Đông Dương và trực thuộc tỉnh, do viên công sứ đầu tỉnh kiêm nhiệm chức đốc lý (tức thị trưởng), gồm:
Thái Nguyên (Dưới thời Pháp thuộc, từ năm 1884 đến đầu thế kỷ XX, cùng với việc tăng cường bộ máy đàn áp, mở rộng các cơ sở dịch vụ, thành phố Thái Nguyên được thực dân Pháp mở rộng và phát triển dân về phía tây nam, bao gồm phần đất có diện tích tương ứng với phường Trưng Vương, một phần các phường Túc Duyên, Hoàng Văn Thụ và Phan Đình Phùng ngày nay (thành lập ngày 23/12/1923)[14].
Vinh - Bến Thủy (thành lập ngày 10/12/1927[15] trên cơ sở sáp nhập 3 đơn vị hành chính: thị xã Vinh, thị xã Bến Thủy và thị xã Trường Thi).
Bạc Liêu (thành lập ngày 18/12/1928)[cần dẫn nguồn]. 1 tài liệu cho biết thị xã Bạc Liêu được thành lập ngày 18/12/1929 do Quyết định của Toàn quyền Đông Dương, là thị xã hỗn hợp của tỉnh Bạc Liêu.
Cáp Xanh Giắc (Cap Saint Jacques, nay là Vũng Tàu) (thành lập ngày 28/12/1934). Trước đó từ 11/11/1899-1/4/1905, Cap Xanh Giắc là thành phố tự trị (commune autonome). Có tài liệu cho biết ngày 1/5/1895, chính quyền thuộc địa ban hành nghị định chính thức thành lập thành phố Vũng Tàu.
Ngày 24 tháng 1 năm 1946, Chủ tịch Chính phủ lâm thời lại quy định tạm coi các thành phố Nam Định, Vinh - Bến Thủy, Huế, Đà Nẵng như thị xã, tức là tỉnh sẽ thay kỳ trong việc quản lý.
Giai đoạn 1954–1975
Sau Hiệp định Genève, 1954, Việt Nam bị chia làm 2 miền. Mỗi miền lại có quy chế đô thị riêng.
Ngày 3 tháng 9 năm 1957, thành phố Nam Định sáp nhập vào tỉnh Nam Định và trở thành tỉnh lỵ của tỉnh này. Trước đó, tỉnh lỵ tỉnh Nam Định đặt ở Hành Thiện, Xuân Trường. Trước đó một thời gian, Nam Định còn là 3 đơn vị hành chính cấp tỉnh; gồm tỉnh Nam Định, tỉnh Bùi Chu và thành phố Nam Định trực thuộc trung ương.
Ngày 4 tháng 6 năm 1962, thành phố Việt Trì được thành lập trên cơ sở toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của thị xã Việt Trì (trước đó, ngày 7 tháng 6 năm 1957, thị xã Việt Trì được thành lập trên cơ sở sát nhập thị trấn Việt Trì thuộc huyện Hạc Trì, tỉnh Phú Thọ và thị trấn Bạch Hạc thuộc huyện Vĩnh Tường, tỉnh Vĩnh Phúc).
Ngày 19 tháng 10 năm 1962, thành phố Thái Nguyên được thành lập trên cơ sở toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của thị xã Thái Nguyên.
Ngày 10 tháng 10 năm 1963, thành phố Vinh được thành lập trên cơ sở toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của thị xã Vinh.
Các thị xã vừa là đô thị trực thuộc trung ương đồng thời là tỉnh lỵ 1 tỉnh gồm Huế (tỉnh lỵ tỉnh Thừa Thiên) và Đà Lạt (tỉnh lỵ tỉnh Tuyên Đức đến 7/9/1967, sau đó tỉnh lỵ Tuyên Đức chuyển cơ quan về xã Tùng Nghĩa, quận lỵ quận Đức Trọng).
Về phân chia hành chính trong các thị xã: Các thị xã được chia thành các quận, có thị xã được chia thành vài quận trong một đơn vị hành chính độc lập trực thuộc trung ương, cũng có thị xã bao gồm vài quận trực thuộc một tỉnh nhưng các quận này ngoài trực thuộc tỉnh đó còn trực thuộc Thị xã tự trị quản lý nó. Cũng có thị xã không chia quận (Chỉ có 1 quận là chính thị xã đó). Các quận lại được chia thành các phường như ngày nay.
Danh sách các thị xã tự trị của chính quyền Việt Nam Cộng hòa
Sau khi thống nhất đất nước, hệ thống quản lý các thành phố ở miền Bắc được giữ nguyên. Tại miền Nam, Đô thành Sài Gòn - Chợ Lớn hợp nhất với tỉnh Gia Định thành Thành phố Hồ Chí Minh trực thuộc trung ương. Tất cả các thị xã tự trị bị giải thể.
Vũng Tàu hợp nhất với Côn Đảo trở thành đặc khu Vũng Tàu - Côn Đảo ngang cấp tỉnh và tương đương thành phố trực thuộc trung ương[25] với 3 cấp gồm đặc khu (Đặc khu Vũng Tàu – Côn Đảo), cấp quận (1 quận hải đảo là Côn Đảo), cấp xã với 5 phường và 1 xã tại đất liền (không phân chia quận tại thị xã Vũng Tàu cũ, các đơn vị cấp xã do đặc khu trực tiếp quản lý).
Sau khi Việt Nam bước vào thời kỳ đổi mới; kinh tế phát triển nhanh chóng, tốc độ đô thị hóa cũng tăng nhanh dẫn đến sự ra đời và phát triển của rất nhiều thành phố mới. Qua các năm, những thành phố mới được thành lập bao gồm:
Ngày 1 tháng 8 năm 2008, cùng với toàn bộ tỉnh Hà Tây, thành phố Hà Đông và thành phố Sơn Tây được sáp nhập vào Thành phố Hà Nội. Ngày 8 tháng 5 năm 2009, theo nghị quyết của Chính phủ, Hà Đông trở thành một quận thuộc Hà Nội, còn Sơn Tây được chuyển trở lại thành thị xã để phù hợp với các quy định pháp luật về đơn vị hành chính của thành phố trực thuộc trung ương lúc bấy giờ (*).