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芯片组 」。
「integrated circuit」的各地常用譯名 中国大陸 集成电路 臺灣 積體電路 港澳 集成電路
「microchip」的各地常用譯名 中国大陸 微芯片 臺灣 微晶片 港澳 微芯片
英特爾486 DX2處理器的積體電路於電子顯微鏡 下
集成电路 (英語:integrated circuit ,簡稱IC ,台湾作積體電路 ),指的是在電子學 中是一種將電路 (主要包括半導體裝置 ,也包括被動元件 等)集中製造在半導體晶圓 表面上的小型化方式。
前述將電路製造在半導體晶片表面上的積體電路,又稱薄膜 (thin-film)積體電路。另有一種厚膜 (thick-film)集成电路 (hybrid integrated circuit )[ 1] [ 註 1] 是由独立半导体设备 和被动元件 集成到基板或线路板所构成的小型化电路 [ 註 2] 。
别称
積體電路的別稱非常多,在中文和英文裏可直接稱它為「芯片 (英語:chip ,台湾作晶片 )」,或是“集成电路 (英語:integrated circuit )”,縮寫 為“IC ”;也可用“微芯片 (microchip )”、“微電路 (microcircuit )”等用词称呼。
介绍
電晶體發明並大量生產之後,各式固態半導體 元件如二極體 、電晶體 等大量使用,取代了真空管 在電路中的功能與角色。到了20世纪中後期半导体制造技术进步,便使集成电路成为可能。相对于手工组装电路使用個別的分立电子元件,積體電路可以把很大数量的微晶体管集成到一个小芯片,是一个巨大的进步。集成电路凭借标准化、可大规模生产、高可靠性、电路设计可模块化等特点,实现了对离散晶体管的取代。
從1949年到1957年,維爾納·雅各比 、傑佛理·杜莫 、西德尼·达林顿 、樽井康夫 都開發出了原型,現代的積體電路則是由傑克·基爾比 在1958年發明,並因此榮獲2000年諾貝爾物理獎 。同時間發展出近代實用的積體電路的羅伯特·諾伊斯 ,卻早在1990年就過世。
集成电路对于离散晶体管有两个主要优势:成本和性能。成本低是由于芯片把所有的元件通过照相平版技术,作为一个单位印刷,而不是在一个时间只制作一个晶体管。性能高是由于元件快速开关,消耗更低能量,因为元件很小且彼此靠近。2006年,芯片面积从几平方毫米到350 mm²,每mm²可以达到一百万个晶体管。
第一個集成電路雛形是由傑克·基爾比 於1958年完成的,其中包括一個雙極性晶體管 ,三個電阻 和一個電容器 ,相較於現今科技的尺寸來講,體積相當龐大。
電子顯微鏡下碳纳米管 微電腦晶片體的場效應畫面
根據一個芯片 上集成的微電子器件 的數量,集成電路可以分為以下幾類:
小型積體電路 (SSI, Small Scale Integration )邏輯閘 10個以下或 電晶體100個以下。
中型積體電路 (MSI, Medium Scale Integration )邏輯閘11~100個或 電晶體101~1k個。
大型積體電路 (LSI, Large Scale Integration )邏輯閘101~1k個或 電晶體1,001~10k個。
超大型積體電路 (VLSI, Very Large Scale Integration )邏輯閘1,001~10k個或 電晶體10,001~100k個。
極大型積體電路 (ULSI, Ultra Large Scale Integration )邏輯閘10,001~1M個或 電晶體100,001~10M個。
巨大規模積體電路 (GSI, Giga Scale Integration)逻辑门1,000,001個以上或電晶體10,000,001個以上。
而根據處理信号的不同,可以分為模拟集成电路 、数字集成电路 、和兼具類比與數位的混合訊號積體電路 。
发展
最先进的集成电路是微处理器 或多核处理器的核心,可以控制一切電路,從數字微波爐 、手機 到電腦 。記憶體 和特定應用積體電路 是其他集成电路家族的例子,对于现代信息社会非常重要。虽然设计开发一个复杂集成电路的成本非常高,但是当成本分散到数以百万计的产品上时,每个集成電路的成本便能最小化。集成電路的性能很高,因为小尺寸带来短路径,使得低功率逻辑电路可以在快速开关速度应用。
这些年来,集成电路持续向更小的外型尺寸发展,使得每个芯片可以封装更多的电路。这样增加了每单位面积容量,可以降低成本和增加功能-见摩尔定律 ,集成电路中的晶体管数量,每1.5年增加一倍。总之,随着外形尺寸缩小,几乎所有的指标改善了-单位成本和开关功率消耗下降,速度提高。但是,集成纳米 级别设备的IC不是没有问题,主要是洩漏电流 。因此,对于最终用户的速度和功率消耗增加非常明显,制造商面临使用更好几何学的尖锐挑战。这个过程和在未来几年所期望的进步,在半导体国际技术路线图 中有很好的描述。
普及
仅仅在其开发后半个世纪,集成电路变得无处不在,电脑、手机和其他数字电器成为现代社会结构不可缺少的一部分。这是因为,现代计算、交流、制造和交通 系统,包括互联网 ,全都依赖于集成电路的存在。甚至有很多学者认为集成电路带来的數位革命 是人类历史中最重要的事件。IC的成熟將會帶來科技的大躍進,不論是在設計的技術上,或是半導體的製程突破,兩者都是息息相關。
分类
加以顏色標示的積體電路內部單元構成實例,四層銅平面作電路連接,之下是多晶矽(粉紅)、阱(灰)、與基片(綠)
集成电路的分類方法很多,依照電路屬類比 或數位 ,可以分为:類比積體電路 、數位積體電路 和混合訊號積體電路 (類比和數位在一个芯片上)。
數位積體電路可以包含任何东西,在几平方毫米上有从几千到百万的逻辑门 、正反器 、多工器和其他电路。这些电路的小尺寸使得与板级集成相比,有更高速度,更低功耗(参见低功耗设计 )并降低了制造成本。这些数字IC,以微处理器、数字信号处理器 和微控制器 为代表,工作中使用二进制 ,处理1和0信号。
類比積體電路有,例如传感器 、电源控制电路和运放 ,处理類比訊號 。完成放大 、滤波 、解调 、混频 的功能等。通过使用专家所設計、具有良好特性的類比積體電路,减轻了电路设计师的重担,不需凡事再由基礎的一個個電晶體處設計起。
集成电路可以把類比和數位电路集成在一个单芯片上,以做出如類比數位轉換器 和數位類比轉換器 等器件。这种电路提供更小的尺寸和更低的成本,但是对于信号冲突必须小心。
制造
从1930年代开始,元素周期表 化学元素中的半导体 被諸如贝尔实验室 威廉·肖克利 (William Shockley)的研究者认为是最適合做固态真空管的原料。這些原料在1940至50年代被系統地研究,从氧化铜 開始,然後到锗 ,再到硅 。現今,单晶硅 是集成电路的主要基层,尽管元素週期表中的一些III-V价化合物(比如砷化镓 )有特殊用途,例如发光二极管 、激光 、太阳能电池 和最高速集成电路。發現无缺陷晶体的製造方法需要数十年的时间。
半导体集成电路製程,包括以下步骤,並重複使用:
使用单晶硅晶圆(或III-V族,如砷化镓)用作基层,然後使用光刻、掺杂、CMP等技術製成MOSFET 或BJT 等元件,再利用薄膜和CMP技術製成導線,如此便完成晶片製作。因產品效能需求及成本考量,導線可分為鋁製程(以濺鍍 為主) 和銅製程 (以電鍍 為主參見Damascene )。 [ 2] [ 3] [ 4] 主要的製程技術可以分為以下幾大類:黃光微影、蝕刻、擴散、薄膜、平坦化製成、金屬化製成。
IC由很多重叠的层组成,每层由影像技术定义,通常用不同的颜色表示。一些层标明在哪里不同的掺杂剂扩散进基层(成为扩散层),一些定义哪里额外的离子灌输(灌输层),一些定义导体(多晶硅 或金属层),一些定义传导层之间的连接(过孔或接触层)。所有的元件由这些层的特定组合构成。
在一个自排列(CMOS )过程中,所有门层(多晶硅或金属)穿过扩散层的地方形成晶体管。
电阻 结构,电阻结构的长宽比,结合表面电阻系数,决定电阻。
电容 结构,由于尺寸限制,在IC上只能产生很小的电容。
更为少见的电感 结构,可以制作芯片载电感或由回旋器模拟。
因为CMOS设备只引导电流在逻辑门之间转换,CMOS设备比双极型元件(如双极性晶体管 ) 消耗的电流少很多,也是現在主流的元件。透過電路的設計,将多顆的電晶體管畫在矽晶圓上,就可以畫出不同作用的集成电路。
随机存取存储器 是最常见类型的集成电路,所以密度最高的设备是記憶體 ,但即使是微处理器上也有存储器。尽管结构非常复杂-几十年来芯片宽度一直减少-但集成电路的层依然比宽度薄很多。元件层的制作非常像照相过程。虽然可见光谱 中的光波不能用来曝光元件层,因为他们太大了。高频光子(通常是紫外线 )被用来创造每层的图案。因为每个特征都非常小,对于一个正在调试制造过程的过程工程师来说,电子显微镜 是必要工具。
在使用自动测试设备(ATE)包装前,每个设备都要进行测试。测试过程称为晶圆测试 或晶圆探通。晶圆被切割成矩形块,每个被称为裸晶 (“die”)。每个好的die被焊在“pads”上的铝线或金线,连接到封装内,pads通常在die的边上。封装之后,设备在晶圆探通中使用的相同或相似的ATE上进行终检。测试成本可以达到低成本产品的制造成本的25%,但是对于低产出,大型和/或高成本的设备,可以忽略不计。
在2005年,一个制造厂(通常称为半导体工厂 ,常簡稱fab ,指fabrication facility)建设费用要超过10亿美元,因为大部分操作是自动化的。
封装
2019年AMD 公司Ryzen5-3600處理器的積體電路未封裝狀態,內部結構可見。
最早的集成電路使用陶瓷扁平封裝 ,这種封装很多年来因為可靠性和小尺寸繼續被軍方使用。商用電路封装很快轉變到雙列直插封裝 ,簡單來說,即開始是陶瓷,之後是塑料。1980年代,VLSI电路的針腳超過了DIP封装的應用限制,最後導致插針網格陣列 和芯片載體 的出现。
表面贴着封装 在1980年代初期出现,該年代后期开始流行。它的針腳使用更细的間距,引脚形状為海鷗翼型或J型。以Small-Outline Integrated Circuit (SOIC)为例,比相等的DIP面积少30-50%,厚度少70%。这种封装在两个長邊有海鷗翼型引脚突出,引脚間距为0.05英寸。
Small-Outline Integrated Circuit(SOIC)和PLCC 封装。1990年代,尽管PGA封装依然经常用于高端微处理器。PQFP 和thin small-outline package (TSOP)成为高引脚数设备的通常封装。Intel和AMD的高端微处理器现在从PGA(Pine Grid Array)封装转到了平面网格阵列封装 (Land Grid Array,LGA)封装。
球柵陣列封裝 封装从1970年代开始出现,1990年代开发了比其他封装有更多管脚数的覆晶 球柵陣列封裝 封装。在FCBGA封装中,晶片 被上下翻转(flipped)安装,通过与PCB 相似的基层而不是线与封装上的焊球连接。FCBGA封装使得输入输出信号阵列(称为I/O区域)分布在整个晶片的表面,而不是限制于晶片的外围。
如今的市場,封裝採用技術與特性已經非常複雜,也已經是獨立出來的一環,封裝的技術也會影响到產品的品質及良率。
注释
参考文献
引用
延伸閱讀
The first monolithic integrated circuits
Who invented the IC? (页面存档备份 ,存于互联网档案馆 )
Baker, R. J. CMOS: Circuit Design, Layout, and Simulation, Third Edition . Wiley-IEEE. 2010. ISBN 978-0-470-88132-3 . http://cmosedu.com/ (页面存档备份 ,存于互联网档案馆 )
Hodges, David; Jackson, Horace; Saleh, Resve. Analysis and Design of Digital Integrated Circuits. McGraw-Hill Science/Engineering/Math. 2003. ISBN 978-0-07-228365-5 .
Klar, Heinrich; Noll, Tobias. Integrierte Digitale Schaltungen: Vom Transistor zur optimierten Logikschaltung. Springer Vieweg. 2015. ISBN 978-3-540-40600-6 .
Rabaey, J. M.; Chandrakasan, A.; Nikolic, B. Digital Integrated Circuits 2nd. 2003. ISBN 0-13-090996-3 .
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Arjun N. Saxena. Invention of Integrated Circuits: Untold Important Facts . World Scientific. 2009. ISBN 978-981-281-446-3 .
Veendrick, H.J.M. Bits on Chips. 2011: 253. ISBN 978-1-61627-947-9 . https://openlibrary.org/works/OL15759799W/Bits_on_Chips/ (页面存档备份 ,存于互联网档案馆 )
外部链接
一般
專利
US3,138,743 – Miniaturized electronic circuit – J. S. Kilby
US3,138,747 – Integrated semiconductor circuit device – R. F. Stewart
US3,261,081 – Method of making miniaturized electronic circuits – J. S. Kilby
US3,434,015 – Capacitor for miniaturized electronic circuits or the like – J. S. Kilby
集成電路模具製造
参见