Em 1801, Napoleão I transforma o Grão-ducado da Toscana no reino da Etrúria do qual Maria Luísa se torna rainha consorte e, depois, regente após a morte do seu marido em 1803. Em 1807, Napoleão dissolve o reino da Etrúria cujo território é anexado ao Império Francês. Maria Luísa refugia-se primeiro em Madrid e, depois, com a destituição de seu pai segue-o para o exílio em França, em 1807. Em 1815, para a compensar pela atribuição do ducado de Parma a Maria Luísa de Áustria, viúva de Napoleão, ela recebe o Ducado de Luca.
Carlos Luís (1799-1883), Rei da Etrúria sob o nome de Luís I (1803/1807), duque de Luca (1814/1847) e, por fim, duque de Parma (1847/1849) como Carlos II; Casou em 1820 Maria Teresa de Saboia;