六氟乙烷
IUPAC名 Hexafluoroethane 六氟乙烷
系统名 六氟乙烷
别名	六氟化碳 1,1,1,2,2,2-六氟乙烷 全氟乙烷 鹵碳 116 PFC-116 CFC-116 R-116 Arcton 116 Halon 2600 UN 2193
识别
CAS号	76-16-4 ?
PubChem	6431
SMILES	C(C(F)(F)F)(F)(F)F
InChI	1/C2F6/c3-1(4,5)2(6,7)8
EINECS	200-939-8
ChEBI	32905
RTECS	KI4110000
性质
化学式	C2F6
摩尔质量	138.01 g·mol⁻¹
外观	無色無嗅氣體
密度	5.734 kg.m-3，24 °C
熔点	-100.6 °C
沸点	-78.2 °C
溶解性（水）	0.0015%
log P	2
蒸氣壓	2.967 MPa，20.1 °C 3.0701 MPa，21 °C
危险性
NFPA 704	0 1 0
闪点	不易燃
若非注明，所有数据均出自标准状态（25 ℃，100 kPa）下。

六氟乙烷，是一種鹵代烴（化學式：C₂F₆），亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物，是一種不易燃的氣體，难溶於水，微溶於醇。

六氟乙烷在固相時擁有兩種晶型，不同相變溫度已於科學文獻中列明，最新的文献将相變溫度定於103 K(-170 °C)。在低於103 K的情況下，它會有一個稍微無序的結構，在相变点以上，會形成体心立方晶體結構。^[1]

六氟乙烷密度表：

六氟乙烷蒸氣相对空气的密度為4.823，21°C时比重為4.773（空氣是1），比容為0.1748 m³/kg。

六氟乙烷可用於一種具多功能的蝕刻技術，常見於半導體之生產。它可用於金屬矽化物及金屬氧化物並相對其金屬基質的選擇性蝕刻。叧外，它亦用於蝕刻矽上的二氧化硅。

六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用於製冷劑R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）。

六氟乙烷是一種造成溫室效應的氣體。它非常穩定，可以長時間停留在大氣層中，是一種非常強大的溫室氣體。它在大氣中的壽命約為10,000年，全球暖化潛勢是9,200（二氧化碳的係數是1）。它在大氣層的濃度是 3 pptv（在1750年時是 0 pptv^[2]）。然而，六氟乙烷在紅外線光譜下有強大的吸收勢。它的輻射驅動力是0.001 W/m²。它的臭氧破壞潛勢是0。

六氟乙烷已列入《IPCC國家溫室氣體清單》。

六氟乙烷的工業排放主要在以霍爾電解法生產鋁的過程中產生。

六氟乙烷的相對密度比較高，可以填滿地面空間範圍，高浓度时會導致窒息。其他健康影響與四氟甲烷相似。

• 全氟化碳
• 四氟甲烷
• 八氟丙烷
• 乙烷
• 1,1,1,2-四氟乙烷
• 六氯乙烷