נידוף באמצעות קרן אלקטרונים

נידוף באמצעות קרן אלקטרונים (באנגלית: Electron-beam physical vapor deposition,‏ EBPVD) הוא תהליך בו אנודת מטרה מופצצת עם קרן אלקטרונים הנפלטת על ידי פילם טונגסטן טעון תחת ואקום גבוה. קרן האלקטרונים גורמת לאטומים מהמטרה לעבור למצב גזי. אטומים אלה מתבדלים לצורה מוצקה, ומצפים את כל תא הוואקום (בהתאם לקווי הראייה) בשכבה דקה של חומר האנודה.

מבוא

ציפוי שכבות דקות הוא תהליך המיושם בתעשיית המוליכים למחצה לגידול חומרים אלקטרוניים, בתעשייה האווירית ליצירת ציפויים תרמיים וכימיים כדי להגן על משטחים מפני תנאי סביבה, באופטיקה כדי להקנות את התכונות הרפלקטיביות והמעבירות הרצויות למצע, ובמקומות נוספים. ניתן לסווג באופן כללי את הנידוף לפיזי (PVD) וכימי (CVD). ב-CVD, גידול השכבה מתרחש בטמפרטורות גבוהות, מה שמוביל ליצירת מוצרים גזיים מאכלים, והוא עלול להותיר זיהומים בשכבה. ניתן לבצע את תהליך ה-PVD בטמפרטורות נמוכות יותר וללא כימיקלים מאכלים, אך קצבי הנידוף בדרך כלל נמוכים יותר. נידוף פיזי של קרן אלקטרונים, לעומת זאת, מניב קצב גבוה שבין 0.1 ל-100 מיקרומטר / דקה בטמפרטורות מצע נמוכות יחסית, עם יעילות גבוהה. התרשים של מערכת EBPVD מוצג באיור 1.

איור 1. סטאפ אלקטרומגנטי. חומר המטרה מוחזק בפוטנציאל חיובי ביחס לחוט הלהט. כדי להימנע מאינטראקציות כימיות בין הלהט לבין חומר המטיל, הוא נשמר מחוץ לטווח הראייה. נעשה שימוש בשדה מגנטי כדי לכוון את קרן האלקטרונים ממקורו למיקום המטרה. ניתן להשתמש בשדה חשמלי נוסף כדי לכוון את הקרן מעל פני המטרה המאפשר חימום אחיד.

תהליך הציפוי

במערכת EBPVD, יש לפנות את תא הוואקום ללחץ נמוך כדי לאפשר מעבר אלקטרונים מתותח האלקטרונים לחומר המטרה, שיכול להיות בצורה של מטיל או מוט.[1] ניתן להשתמש בו זמנית במספר חומרי אידוי ותותחי אלקטרונים במערכת EBPVD יחידה, שלכל אחד מהם הספק שבין עשרות למאות קילוואט. קרני אלקטרונים יכולות להיווצר על ידי פליטה תרמית, פליטת FEG או בשיטת קשת האנודה. קרן האלקטרונים שנוצרת מואצת לאנרגיה קינטית גבוהה ומופנית כלפי חומר האידוי. עם פגיעה בחומר האידוי, האלקטרונים יאבדו את האנרגיה שלהם במהירות רבה.[2] האנרגיה הקינטית של האלקטרונים מומרת לצורות אנרגיה אחרות באמצעות אינטראקציות עם חומר האידוי. האנרגיה התרמית המופקת מחממת את חומר האידוי וגורם לו להנתך או להמריא. ברגע שהטמפרטורה ורמת הוואקום גבוהים מספיק, ייווצרו אדים. לאחר מכן ניתן להשתמש באדים המתקבלים לציפוי משטחים. מתח ההאצה יכול להיות בין 3 ל-40 קילו וולט. כאשר המתח הוא 20–25 קילו וולט וזרם הקרן הוא כמה אמפר, ניתן להמיר 85% מהאנרגיה הקינטית של האלקטרון לאנרגיה תרמית. חלק מאנרגיית האלקטרונים נאבדת באמצעות ייצור קרני רנטגן ופליטת אלקטרונים משנית.

יתרונות

קצב הנידוף בתהליך זה יכול להיות נמוך מ-1 ננומטר לדקה עד כמה מיקרומטר לדקה. יעילות השימוש בחומרים גבוהה יחסית לשיטות אחרות, והתהליך מציע שליטה מבנית ומורפולוגית בציפויים המתקבלים.

חסרונות

EBPVD הוא תהליך נידוף בקו ראייה כאשר הוא מבוצע בלחץ נמוך מספיק (בערך <10 -4 Torr). תנועות טרנסלציה וסיבוב של הדגם מסייעת לציפוי משטח בעל גאומטריות מורכבות, אך לא ניתן להשתמש בתהליך זה לציפוי משטחים פנימיים של גאומטריות מורכבות. בעיה פוטנציאלית נוספת היא דגרדציה של הפילם באקדח האלקטרונים שמביאה לקצב נידוף לא אחיד.

ראו גם

הערות שוליים

  1. ^ Harsha, K. S. S, "Principles of Physical Vapor Deposition of Thin Films", Elsevier, Great Britain (2006), p. 400.
  2. ^ George, J., "Preparation of thin films", Marcel Dekker, Inc., New York (1992), p. 13–19.

Read other articles:

Florence Petty

Florence Petty, c. 1916 Florence Petty (1 Desember 1870 – 18 November 1948) adalah seorang pekerja sosial, penulis buku resep, dan penyiar asal Skotlandia. Selama tahun 1900-an, di daerah Somers Town, London Utara, yang mengalami deprivasi sosial, Petty menjalankan karya sosial untuk Sekolah St Pancras bagi Ibu, yang umumnya dikenal sebagai The Mothers' and Babies' Welcome. Ia melaksanakan demonstrasi memasak bagi wanita buruh untuk membiasakan mereka memasak makanan yan...

 

Hichem Mechichi

Hichem Mechichiهشام المشيشيMechichi pada 2020 Perdana Menteri TunisiaMasa jabatan2 September 2020 – 25 Juli 2021PresidenKais Saied PendahuluElyes FakhfakhPenggantiLowongMenteri Dalam NegeriMasa jabatan27 Februari 2020 – 2 September 2020Perdana MenteriElyes Fakhfakh PendahuluHichem FouratiPenggantiTaoufik Charfeddine Informasi pribadiLahirJanuari 1974 (umur 50)Bou Salem, TunisiaPartai politikIndependenAlma materUniversitas Tunis El ManarÉcole nationa...

 

Distrik Nam, Daegu

Nam District 남구DistrikTranskripsi Korea • Hanja南區 • Alih Aksara yang DisempurnakanNam-gu • McCune-ReischauerNam-guKantor distrik Nam-gu di Daegu, Korea Selatan.NegaraKorea SelatanRegionYeongnamTingat provinsiDaeguPembagian administratif13 administratif dongLuas • Total17,44 km2 (6,73 sq mi)Populasi ([1]) • Total180.547 • Kepadatan10,000/km2 (27,000/sq mi) • DialekG...

Viewtiful Joe: Double Trouble!

Cet article est une ébauche concernant le jeu vidéo. Vous pouvez partager vos connaissances en l’améliorant (comment ?) (voir l’aide à la rédaction). Viewtiful JoeDouble Trouble!Développeur Clover StudioÉditeur CapcomCompositeur Takeshi Miura (en)Producteur Atsushi InabaDate de sortie 2 novembre 2005 (JP) 9 novembre 2005 (AN) 24 février, 2006 (EU)Genre Beat them allMode de jeu un joueurPlate-forme Nintendo DSmodifier - modifier le code - modifier Wikidata Viewtiful Joe: Doub...

 

Prudential plc

Halaman ini berisi artikel tentang perusahaan asal Britania Raya. Untuk perusahaan asal Amerika, lihat Prudential Financial. Untuk kegunaan lain, lihat Prudential (disambiguasi). Prudential plcKantor pusat di One Angel Court, LondonJenisPerusahaan publikKode emitenLSE: PRUNYSE: PUKSEHK: 2378Komponen FTSE 100IndustriAsuransiDidirikanMei 1848; 175 tahun lalu (1848-05) di LondonKantorpusatLondon, Inggris, Britania RayaWilayah operasiSeluruh duniaTokohkunciShriti Vadera(Chairman)Mike We...

 

Youssoufa Moukoko

Youssoufa Moukoko Moukoko con il Borussia Dortmund nel 2023 Nazionalità  Camerun Germania (dal 2014) Altezza 179 cm Peso 72 kg Calcio Ruolo Attaccante Squadra  Borussia Dortmund Carriera Giovanili 2014-2016 St. Pauli2016-2020 Borussia Dortmund Squadre di club1 2020- Borussia Dortmund71 (15) Nazionale 2017 Germania U-164 (3)2020 Germania U-202 (0)2021- Germania U-2110 (12)2022- Germania2 (0) Palmarès  Europei di calcio Under-21 Oro Ungheria-Slovenia 2021 1...

Ontinyent Club de Fútbol

Questa voce o sezione sull'argomento società calcistiche spagnole non cita le fonti necessarie o quelle presenti sono insufficienti. Puoi migliorare questa voce aggiungendo citazioni da fonti attendibili secondo le linee guida sull'uso delle fonti. Ontinyent C.F.Calcio Segni distintivi Uniformi di gara Casa Trasferta Colori sociali Nero, bianco Dati societari Città Ontinyent Nazione  Spagna Confederazione UEFA Federazione RFEF Fondazione 1931 Scioglimento2019 Stadio Estadio El Cl...

 

Associazione Calcio Carpi 1932-1933

Questa voce sull'argomento stagioni delle società calcistiche italiane è solo un abbozzo. Contribuisci a migliorarla secondo le convenzioni di Wikipedia. Segui i suggerimenti del progetto di riferimento. Voce principale: Carpi Football Club 1909. Associazione Calcio CarpiStagione 1932-1933Sport calcio Squadra Carpi Allenatore Guglielmo Reggiani Presidente Arnaldo Salvaterra Prima Divisione6º posto nel girone E. Maggiori presenzeCampionato: Sgarbi e Barbieri (24) Miglior marcator...

 

List of newspapers in India by circulation

This page is currently being merged. After a discussion, consensus to merge this page with List of newspapers in India by readership was found. You can help implement the merge by following the instructions at Help:Merging and the resolution on the discussion. Process started in September 2021. This is a list of the top newspapers in India by circulation. These figures include both print and digital subscriptions, are compiled by the Audit Bureau of Circulations. The figures include norm...

Cethe

Membatik di sebatang rokok menggunakan ampas kopi. Cethe atau lelet adalah tradisi mengoleskan endapan kopi ke permukaan rokok. Kopi untuk membuat cethe biasanya disebut dengan kopi cethe/lelet.[1] Kata céthé diambil dari bahasa Jawa yang artinya ampas atau endapan kopi. Endapan ini kemudian bisa dioles-oleskan dengan menggunakan lidi atau tusuk gigi pada batang rokok untuk menciptakan gambar atau hiasan batik.[2] Melukis pada batang rokok dengan ampas kopi dipercaya juga da...

 

内华达州

内華達州 美國联邦州State of Nevada 州旗州徽綽號：產銀之州、起戰之州地图中高亮部分为内華達州坐标：35°N－42°N, 114°W－120°W国家 美國建州前內華達领地加入聯邦1864年10月31日（第36个加入联邦）首府卡森城最大城市拉斯维加斯政府 • 州长（英语：List of Governors of {{{Name}}}]]） • 副州长（英语：List of lieutenant governors of {{{Name}}}]]）喬·隆巴爾多（R斯塔...

 

Henbury, Bristol

Human settlement in EnglandHenburyBoundaries of the city council ward, shown within Bristol.Population10,699 (2011.Ward)[1]OS grid referenceST564786Unitary authorityBristolCeremonial countyBristolRegionSouth WestCountryEnglandSovereign stateUnited KingdomPost townBRISTOLPostcode districtBS10Dialling code0117PoliceAvon and SomersetFireAvonAmbulanceSouth Western UK ParliamentBristol North West List of places UK England Bristol 51°30′18″...

Industrie de l'alcool

Cet article est une ébauche concernant l’industrie. Vous pouvez partager vos connaissances en l’améliorant (comment ?) selon les recommandations des projets correspondants. Si ce bandeau n'est plus pertinent, retirez-le. Cliquez ici pour en savoir plus. Cet article ne cite pas suffisamment ses sources (décembre 2010). Si vous disposez d'ouvrages ou d'articles de référence ou si vous connaissez des sites web de qualité traitant du thème abordé ici, merci de compléter l'artic...

 

Red-bellied woodpecker

Species of bird Red-bellied woodpecker Adult male Callⓘ Conservation status Least Concern  (IUCN 3.1)[1] Scientific classification Domain: Eukaryota Kingdom: Animalia Phylum: Chordata Class: Aves Order: Piciformes Family: Picidae Genus: Melanerpes Species: M. carolinus Binomial name Melanerpes carolinus(Linnaeus, 1758) Approximate distribution map   Year-round Synonyms Centurus carolinus Picus carolinus Linnaeus, 1758 The red-bellied woodpecker (Melanerpes caroli...

 

نادي البكيرية

البكيرية الأسماء السابقة نادي الأمل (1962 - 2018) الألوان الأبيض والبنفسجي تأسس عام 1382 هـ - 1962 الملعب ملعب نادي البكيرية البكيرية(السعة: 5000) البلد السعودية  الدوري دوري الدرجة الأولى السعودي الإدارة المالك وزارة الرياضة رئيس مجلس الإدارة عبد الرحمن الحضيف المدرب دراغان تادي�...

Erik Hagen

Norwegian footballer (born 1975) Not to be confused with Erik Hagen (footballer, born 1941). Erik Hagen Hagen with Zenit, c. 2005-08Personal informationFull name Erik Bjørnstad HagenDate of birth (1975-07-20) 20 July 1975 (age 48)Place of birth Veme, NorwayHeight 1.87 m (6 ft 1+1⁄2 in)Position(s) DefenderYouth career JevnakerSenior career*Years Team Apps (Gls)1994–1996 Jevnaker 42 (6)1996–1997 Liv/Fossekallen 42 (6)1998–1999 Strømsgodset IF 24 (0)2000–2004 ...

 

Musik non stop

1999 single by Kent Musik Non StopSingle by Kentfrom the album Hagnesta Hill Released15 November 1999 (Swedish version)10 July 2000 (English version)GenreAlternative rockLabelBMG Sweden/RCA VictorSongwriter(s)Joakim BergProducer(s)ZedKent singles chronology 747 (1998) Musik Non Stop (1999) En himmelsk drog (2000) Music videoMusik Non Stop on YouTube Musik Non Stop is a song by Swedish alternative rock band Kent. It was released in November 1999 as the first single from the album Hagnesta Hill...

 

Pekon Township

This article needs additional citations for verification. Please help improve this article by adding citations to reliable sources. Unsourced material may be challenged and removed.Find sources: Pekon Township – news · newspapers · books · scholar · JSTOR (December 2018) (Learn how and when to remove this message) Pekon Township (Burmese: ဖယ်ခုံမြို့နယ်; also spelled Pekhon, Phekhon, Pekong, Pecong, Pékon) is a township of ...

DNA komplemen

Visualisasi hasil sintesis cDNA untai pertama DNA komplemen atau DNA pelengkap, atau jauh lebih dikenal dengan singkatannya cDNA (dari complementary DNA), merupakan DNA untai tunggal sintetik/buatan yang disalin dari untai mRNA menggunakan teknik PCR dengan memanfaatkan enzim transkriptase balik.[1] Penggunaan cDNA ini sangat luas, terutama dalam analisis ekspresi genetik dan transkriptomika.[1] mRNA berkas tunggal atau transkriptom bersifat tidak stabil karena mudah dicerna d...

 

List of Spanish musicians

This is a list of individual musical artists originating from Spain. For groups and bands, see List of bands from Spain. See also Music of Spain. Contents:  Top 0–9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z A Aitana in Málaga in 2018 Agoney Aid Ainhoa Aitana Alaska Pablo Alborán Edith Alonso Eva Amaral Remedios Amaya Ana Belén Soraya Arnelas Santiago Auserón Luis Eduardo Aute B David Bisbal, in 2007 Barei Bebe Paloma Berganza Teresa Berganza Carlos Berlanga Beth Davi...