Elektronová litografie

Elektronová litografie (angl. electron-beam lithography, e-beam lithography, EBL) je postup, při kterém je svazek elektronů emitován tak, aby vytvořil vzory (obrazy) na ploše pokryté tenkou vrstvou elektronového rezistu (expozice) a následně jsou selektivně odstraněny (rozpuštěny) buď exponované nebo neexponované oblasti rezistu (vyvolání rezistu)[1].

Účelem tohoto postupu je vytvořit v rezistu velmi malé struktury, které pak mohou být přeneseny do materiálu podložky. Elektronová litografie byla vyvinuta pro potřeby výroby integrovaných obvodů (zejména výroba masek pro jednotlivé technologické operace). Používá se rovněž pro vytváření struktur v oblasti nanotechnologie.

Elektronový litograf

Elektronový litograf

Zařízení umožňující zápis elektronovým svazkem nazýváme elektronový litograf. Podle tvaru svazku existují litografy s Gaussovským svazkem nebo s tvarovaným svazkem. Svazek je možné vychylovat buďto v pravidelném rastru podobně jako v rastrovacích mikroskopech (rastrový zápis) nebo na libovolnou pozici vychylovacího pole (vektorový zápis).

Základní částí elektronového litografu je kovová trubka neboli tubus (na obrázku válcová část vpravo nahoře), který je podobný jako u řádkovacího elektronového mikroskopu: zdroj elektronů a urychlovací systém (elektronová tryska), clona (pro nastavení proudu ve svazku případně pro tvarování svazku), elektronově optická soustava a systém vychylování svazku. Do pracovní komory (na obrázku vpravo dole) se umísťuje rámeček s uchyceným vzorkem. Vzhledem k omezenému rozsahu vychylování svazku je další důležitou součástí přesný litografický stolek pro posuv substrátu (viz wafer), jehož pozice je odměřována pomocí laserové interferometrie.

Elektronový litograf (podobně jako ostatní zařízení pracující se svazkem elektronů: mikroskop, svářečka) je ultravakuové zařízení. Tohoto stupně vakua se dosahuje pomocí několika typů vývěv (rotační, turbomolekulární, iontové). Při zavážení vzorku do  vakuové pracovní komory dojde ke zhoršení vakua v této komoře; pro urychlení výměny (resp. obnovení pracovního tlaku) se používá vakuová propust.

Technologické procesy

Expozice rezistu

Elektronový rezist je makromolekulární látka citlivá na elektromagnetické záření. Působením energie v elektronovém svazku dochází buď k síťovacím procesům (negativní rezisty) nebo k degradačním procesům (pozitivní rezisty). Tyto procesy vedou k lokální změně molekulové hmotnosti rezistu (velikosti molekul). Velikost molekul úzce souvisí s rychlostí rozpouštění rezistu v dané vývojce. Typickým představitelem pozitivního rezistu je PMMA (prakticky dobře známé plexisklo).

Vyvolání rezistu

Podložka s exponovaným rezistem se vyvolá pomocí vhodné vývojky. U negativního rezistu se rozpustí neexponované oblasti. U pozitivního rezistu se rozpustí exponované oblasti. Výsledkem je rezistová šablona (maska) s otvory, přes které je možné opracovat vlastní podložku. Základními parametry pro technologii vyvolávání jsou citlivost a kontrast vývojky.

Opracování podložky

Pro opracování podložky lze použít různé technologie. Podmínkou je, aby vůči tomuto zpracování byla rezistová maska dostatečně odolná.

Použití elektronové litografie

  • Příprava fotošablon (masek) pro projekční fotolitografii.
  • Kusová výroba prototypů polovodičových součástek a integrovaných obvodů.
  • Výzkum a vývoj v oblasti mikrostruktur a nanostruktur.
  • Šablony pro nanoimprint litografii.

Odkazy

Reference

  1. ↑ MCCORD, M. A., M. J. Rooks. SPIE Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication. [s.l.]: [s.n.], 2000. Dostupné online. Kapitola 2. 

Související články

Externí odkazy

Read other articles:

Aérospatiale Super Frelon

SA 321 Super Frelon Helikopter Super Frelon milik Angkatan Laut Prancis Jenis Helikopter angkut Negara asal Prancis Pembuat Sud AviationAérospatiale Penerbangan perdana 7 Desember 1962 Diperkenalkan 1966 Status Masih dioperasikan oleh Angkatan Laut Tentara Pembebasan Rakyat Pengguna utama Angkatan Laut PrancisAngkatan Udara Tentara Pembebasan RakyatAngkatan Udara Afrika SelatanAngkatan Udara Irak Dibuat 1962–1981 Jumlah 110 Dikembangkan dari SNCASE SE.3200 Frelon Dikembangkan menjadi...

 

Fossil Butte National Monument

Fossil Lake redirects here. For the lakebed in Oregon, see Fossil Lake (Oregon). Fossil Butte National MonumentIUCN category V (protected landscape/seascape)Fossil Butte National MonumentFossil ButteShow map of WyomingFossil ButteShow map of the United StatesLocationLincoln County, Wyoming, USANearest cityKemmerer, WYCoordinates41°51′52″N 110°46′33″W / 41.86444°N 110.77583°W / 41.86444; -110.77583Area8,198 acres (33.18 km2)[1]EstablishedOc...

 

Hidrogen

1HHidrogenGas hidrogen dalam tabung lucutan Garis spektrum hidrogenSifat umumNama, lambanghidrogen, HPengucapan/hidrogèn/[1] Penampilangas tak berwarna dengan nyala ungu dalam keadaan plasmaHidrogen dalam tabel periodik 1H Hidrogen Helium Lithium Berilium Boron Karbon Nitrogen Oksigen Fluor Neon Natrium Magnesium Aluminium Silikon Fosfor Sulfur Clor Argon Potasium Kalsium Skandium Titanium Vanadium Chromium Mangan Besi Cobalt Nikel Tembaga Seng Gallium Germanium Arsen Selen Brom...

دورة الأكسجين

تحوي هذه المقالة أو هذا القسم ترجمة آلية. فضلًا، ساهم في تدقيقها وتحسينها أو إزالتها لأنها تخالف سياسات ويكيبيديا. (نقاش) (يوليو 2016) دورة الأكسجين. دورة الأكسجين هي دورة بيوجيوكيميائية تصف حركة الأوكسجين داخل الاحتياطيات الرئيسة الثلاثة: الغلاف الجوي (الهواء)، والمحتوى الك�...

 

Vallehermoso, Negros Timur

Peta menunjukkan lokasi Vallehermoso Vallehermoso adalah munisipalitas yang terletak di provinsi Negros Oriental, Filipina. Pada tahun 2010, munisipalitas ini memiliki populasi sebesar 89.000 jiwa dan 20.000 rumah tangga. Pembagian wilayah Secara administratif Vallehermoso terbagi menjadi 15 barangay, yaitu: Bagawines Bairan Don Espiridion Villegas Guba Cabulihan Macapso Malangsa Molobolo Maglahos Pinocawan Poblacion Puan Tabon Tagbino Ulay Pranala luar Philippine Standard Geographic Code Dia...

 

Sulitjelma

Pour l’article homonyme, voir Sulitjelma (massif). Cet article est une ébauche concernant une localité norvégienne. Vous pouvez partager vos connaissances en l’améliorant (comment ?) selon les recommandations des projets correspondants. Sulitjelma Administration Pays Norvège Comté Nordland Kommune Fauske Géographie Coordonnées 67° 09′ 00″ nord, 16° 03′ 00″ est Localisation Géolocalisation sur la carte : Norvège Sulitjelma Géolo...

Unione Sportiva Pontedera 1986-1987

Questa voce sull'argomento Stagioni delle società calcistiche italiane è solo un abbozzo. Contribuisci a migliorarla secondo le convenzioni di Wikipedia. Segui i suggerimenti del progetto di riferimento. Voce principale: Unione Sportiva Città di Pontedera. Unione Sportiva PontederaStagione 1986-1987Sport calcio Squadra Pontedera Allenatore Adriano Lombardi poi Giorgio Canali Presidente Edilio Pellinacci Serie C213º posto nel girone A. Maggiori presenzeCampionato: Lombardini (34...

 

Paelya

Philippine rice dish Not to be confused with paella. PaelyaPaelya from TagaytayAlternative namespaellaCourseMain dishPlace of originPhilippinesServing temperatureHotMain ingredientsglutinous rice, riceVariationsarroz a la valenciana, bringhe, paella negra Paelya (Tagalog: [paˈɛlja]) or paella (Spanish), is a Philippine rice dish adapted from the Valencian paella. However, it differs significantly in its use of native glutinous rice (malagkít), giving it a soft and sticky texture, u...

 

Стеллерова корова

† Стеллерова корова Муляж стеллеровой коровы в Лондонском музее естествознания Научная классификация Домен:ЭукариотыЦарство:ЖивотныеПодцарство:ЭуметазоиБез ранга:Двусторонне-симметричныеБез ранга:ВторичноротыеТип:ХордовыеПодтип:ПозвоночныеИнфратип:Челюстно�...

Thomas Pesquet

Thomas PesquetPesquet nel 2016Astronauta dell'ESANazionalità Francia StatusIn attività Data di nascita27 febbraio 1978 Selezione2009 (Gruppo ESA 3) Primo lancio17 novembre 2016 Ultimo atterraggio9 novembre 2021 Altre attivitàIngegnere Tempo nello spazio396 giorni, 11 ore e 34 minuti Numero EVA6 Durata EVA39 ore 54 min Missioni Sojuz MS-03 SpaceX Crew-2 Modifica dati su Wikidata · Manuale Thomas Pesquet (Rouen, 27 febbraio 1978) è un ingegnere, aviatore e astronauta francese del...

 

العلاقات الأمريكية البوتانية

العلاقات الأمريكية البوتانية الولايات المتحدة بوتان   الولايات المتحدة   بوتان تعديل مصدري - تعديل   العلاقات الأمريكية البوتانية هي العلاقات الثنائية التي تجمع بين الولايات المتحدة وبوتان.[1][2][3][4][5] مقارنة بين البلدين هذه مقارنة عامة وم�...

 

Pedro Passos Coelho

117th Prime Minister of Portugal In this Portuguese name, the first or maternal family name is Mamede and the second or paternal family name is Passos Coelho. His ExcellencyPedro Passos CoelhoPassos Coelho in 2012Prime Minister of PortugalIn office21 June 2011 – 26 November 2015PresidentAníbal Cavaco SilvaDeputyPaulo PortasPreceded byJosé SócratesSucceeded byAntónio CostaPresident of the Social Democratic PartyIn office9 April 2010 – 16 February 2018Secretary-Gen...

Munisipalitas Kratovo

Munisipalitas Kratovo КратовоMunisipalitas BenderaLambang kebesaranLokasi di Makedonia UtaraNegara Makedonia UtaraRegionTimur LautIbu kotaKratovoLuas • Total375 km2 (145 sq mi)Populasi (2002) • Total10.441 • Kepadatan28/km2 (72/sq mi)Kode ISO 3166-2MK-43Situs webhttp://www.OpstinaKratovo.gov.mk Munisipalitas Kratovo adalah salah satu munisipalitas di Makedonia Utara yang menjadi bagian region statistik Timur Laut. Kode I...

 

Four Kids and It

2020 British filmFour Kids and ItOfficial promotional posterDirected byAndy De EmmonyWritten by Simon Lewis Mark Oswin Based onFour Children and It by Jacqueline WilsonProduced by Julie Baines Anne Brogan Starring Paula Patton Matthew Goode Billy Jenkins Ashley Aufderheide Teddie-Rose Malleson-Allen Ellie-Mae Siame Russell Brand Michael Caine CinematographyJohn PardueEdited byAlex MackieMusic byAnne NikitinProductioncompanies Kindle Entertainment Deadpan Pictures Distributed by Sky Cinema ...

 

علم إيطاليا

علم إيطاليا   ألوان أخضر أبيض أحمر  الاعتماد 19 يونيو 1946 الاختصاص إيطاليا  سنة الاعتماد 1 يناير 1948 تعديل مصدري - تعديل   أعتمد علم جمهورية إيطاليا بشكله الحالي في 19 حزيران - يونيو من سنة 1946 وأعتمد رسميا في 1 كانون الثاني - يناير من سنة 1948 والعلم الإيطالي مستوحى من العل�...

玛蒂尔德·格勒莫

玛蒂尔德·格勒莫个人资料出生 (2000-02-08) 2000年2月8日（24歲）瑞士弗里堡运动国家／地区 瑞士运动自由式滑雪项目坡面障碍技巧 奖牌记录 女子自由式滑雪 代表 瑞士 奧林匹克運動會 2022年 北京 坡面障碍 2018年 平昌 坡面障碍 2022年 北京 大跳台 世界极限运动会 2017年 挪威 大跳台 2019年 阿斯彭 大跳台 2021年 阿斯彭 大跳台 玛蒂尔德·格勒莫（法語：Mathilde Gremaud，2000年2...

 

Тезоуринья

Тезоуринья Общая информация Полное имя Осмар Фортес Барселлос Прозвища Великолепнейший стрелок[1] (Maravilhoso ponteiro) Родился 3 октября 1921(1921-10-03)Порту-Алегри, Бразилия Умер 17 июня 1979(1979-06-17) (57 лет)Порту-Алегри, Бразилия Гражданство Бразилия Рост 173 см Позиция правый напад�...

 

Olaf Kölzig

Olaf Kölzig Données clés Surnom(s) Olie the Goalie[1], Godzilla[2] Nationalité Allemagne Naissance 6 avril 1970, Johannesbourg (Afrique du Sud) Joueur retraité Position Gardien de but Attrapait de la Gauche A joué pour LNHCapitals de WashingtonLightning de Tampa BayLAHSkipjacks de BaltimoreAmericans de RochesterPirates de PortlandECHLAdmirals de Hampton RoadsDELEisbären Berlin Repêc. LNH 19e choix au total, 1989Capitals de Washington Carrière pro. 1989-2009 Temple de la renomm�...

Finding in the Temple

Event from the life of Jesus Christ Among the Doctors redirects here. For paintings of this subject, see Christ Among the Doctors (painting). Christ Among the Doctors, c. 1560, by Paolo Veronese Events in theLife of Jesusaccording to the canonical gospels Early life Annunciation Visitation Joseph's dreams Nativity Virgin birth Annunciation to the Shepherds Adoration of the Shepherds Circumcision Adoration of the Magi Flight into Egypt Massacre of the Innocents Presentation Return to Nazareth ...

 

تصوير بالرنين المغناطيسي

تصوير بالرنين المغناطيسي تصوير للرأس بالرنين المغناطيسي من أنواع تصوير تشخيصي طبي  ن.ف.م.ط. D008279 تعديل مصدري - تعديل   جهاز تصوير بالرنين المغناطيسي MRI عالي الدقة إنتاج هولندا. جهاز مفتوح للتصوير بالرنين المغناطيسي MRI (واحد تسلا) ، بالسويد. تصوير المخ بالرنين المغناطيسي ...