一氟硅烷
别名	氟硅烷
识别
CAS号	13537-33-2
PubChem	66390
SMILES	F[SiH3]
性质
化学式	SiH3F
摩尔质量	50.11 g·mol⁻¹
外观	无色气体[1]
密度	2.048 g·l−1[1]
熔点	−98.6 °C[2]
沸点	-88.1 °C
相关物质
相关化学品	氟甲烷 甲硅烷 二氟硅烷 三氟硅烷 四氟硅烷
若非注明，所有数据均出自标准状态（25 ℃，100 kPa）下。

一氟硅烷 是一种无机化合物 ，化学式SiH₃F 。

一氟硅烷可以由氟甲烷和硅 反应而成。 ^[3] 它也可以由氯硅烷 和三氟化锑 反应而成。^[4]

${\displaystyle \mathrm {3\ SiH_{3}Cl+SbF_{3}\ \longrightarrow \ SiH_{3}F+SbCl_{3}} }$

一氟硅烷是一种无色气体。^[1] 一氟硅烷在96 K时为固体，具有空间群 P21/n的单斜晶体结构，并在常压下直接转变为气态。 ^[5]

1. ^ ^{1.0 1.1 1.2} William M. Haynes. CRC Handbook of Chemistry and Physics, 93rd Edition. CRC Press. 2016: 87. ISBN 978-1-4398-8050-0. 
2. ^ Dale L. Perry. Handbook of Inorganic Compounds, Second Edition. CRC Press. 2016: 179. ISBN 978-1-4398-1462-8. 
3. ^ Han-Gook Cho: Investigation of Reaction Paths from Si + CH4 to C + SiH4 and from Si + CH3F to C + SiH3F: Intrinsic Reaction Coordinate Studies. In: Journal of the Korean Chemical Society. 60, 2016, S. 149, doi:10.5012/jkcs.2016.60.2.149
4. ^ C. C. Addison. Inorganic Chemistry of the Main-Group Elements. Royal Society of Chemistry. 1973: 188. ISBN 978-0-85186-752-6. 
5. ^ A. J. Blake, E. A. V. Ebsworth, S. G. D. Henderson, A. J. Welch: Structure of silyl fluoride, SiH3F, at 96 K. In: Acta Crystallographica Section C Crystal Structure Communications. 41, S. 1141, doi:10.1107/S0108270185006904.