Чиста соба за производњу микросистема. Црвено осветљење је неопходно за фотолитографију, како би се спречило излагање светлу мањих таласних дужина материјала осетљивих на светло.Чиста соба за производњу микроелектроничких компоненти са вентилаторским филтерским јединицама постављеним на плафону.
Чиста соба је окружење које се обично користи у производњи или научном истраживању, које садржи низак ниво загађивача из окружења као што су прашина, микроби из ваздуха, аеросолне честице и хемијска испарења. Прецизније, чиста соба има контролисани ниво контаминације који се спецификује бројем честица по кубном метру за одговарајућу величину честице. Примера ради, ваздух у уобичајеном урбаном окружењу садржи 35.000.000 честица величине 0,5 μm или већих по кубном метру, што одговара ИСО чистој соби нивоа 9, док ИСО чиста соба нивоа 1 не сме да садржи честице те величине, и може да садржи највише 1,02 честице величине 0,3 микрометра или веће по кубном метру.
Опис
Чисте собе могу бити врло велике. Читава производња постројења се могу налазити унутар чистих соба површина више хиљада квадратних метара. Чисте собе се интензивно користе у производњи полупроводника, биотехнологији и другим областима које су врло осетљиве на контаминацију окружења.
Ваздух који улази у чисту собу споља се филтрира како би се одстранила прашина, а ваздух који се налази унутра стално рециркулише кроз високоефикасне ваздушне филтере како би се уклонило интерно генерисано загађење.
Особље улази и напушта чисте собе кроз ваздушне коморе (које понекад садрже ваздушне тушеве), и носе заштитну одећу као што су капуљаче, маске за лица, рукавице, чизме и пелерине.
Опрема унутар чистих соба је дизајнирана тако да производи што мање загађења ваздуха. Користе се само специјалне крпе за брисање. Намештај у чистим собама се прави тако да испушта што мање честица и да га је што лакше очистити.
Уобичајени материјали као што су папир, оловке и тканине начињене од природних влакана се обично не користе у чистим собама, већ се уместо њих користе алтернативни алати. Чисте собе нису стерилне (то јест без неконтролисаних микроба);[1] већ се контролишу само честице из ваздха. За тестирање чистоће се обично користе бројачи честица.
Неке чисте собе се држе под позитивним притиском како би у случају цурења ваздух цурео из простоије уместо да нефилтрирани ваздух улази у просторију.
У чистим собама чији стандарди чистоће ваздуха нису сувише строги, улаз у просторију не мора да има ваздушни туш, већ постоји предсобље (познато као „сива соба“), у којем се облачи одећа за чисту собу, и из које се директно улази у чисту собу.
Нека производна постројења не користе спецификоване чисте собе али користе неке праксе чистих соба како би одржали загађење испод захтеваног нивоа.[2][3]
