Факультет основан в 1942 году в составе Московского Механического Института (ММИ), в 1953 году переименованного в Московский Инженерно-Физический Институт (МИФИ). Первоначальное название — Инженерно-физический факультет. Первым деканом факультета был А. И. Лейпунский.
В 1954 году инженерно-физический факультет был разделён на факультеты теоретической и экспериментальной физики и физико-энергетический.
В 1974 году физико-энергетический факультет был переименован в Факультет технической физики.
Анатолий Воропаев (1960) — заместитель директора РАЯНО по информационному обеспечению, идейный вдохновитель проекта «Незабудка».
Виктор Мурогов (1961) — исполнительный директор РАЯНО, профессор, в 1996—2004 годах — зам. генерального директора МАГАТЭ.
Сергей Чернокнижников (1974) — главный специалист отдела подготовки и поддержания квалификации персонала атомных станций департамента по управлению персоналом концерна «Росэнергоатом».