Tetrametylammoniumhydroksid (TMAH) er en kvartær ammoniumforbindelse med kjemisk formel (CH3)4NOH. Stoffet er mye brukt i halvlederindustrien til anisotrop etsing av silisium og som løsemiddel av organiske stoffer. Stoffet kommer i 3 varianter: vannfri, trihydrat og pentahydrat.
Helsefare
TMAH er en sterk base og den er etsende dersom den kommer i kontakt med huden og øynene. Stoffet kan kan lamme muskler og nerver og kan være dødelig selv i mindre doser.
Autoritetsdata
