원삼국시대 서산 일대에는 마한 치리국국(致利鞠國)이 있었으며, 삼국시대에 백제에 정복된 뒤 해상요충지로 부춘산 기슭에 오늘날 서산시의 모체인 기군(基郡)이 설치되었다. 남북국시대에는 신라에 의해 기군이 부성군(富城郡)으로 개칭되었다. 고려시대에는 인종 21년(1143) 현령(縣令)을 두어 부성현(富城縣)으로 격하되었다가 명종 12년(1182) 현령과 현위(縣尉)의 다툼이 심해 잠시 폐현되고 운주(運州)에 예속된다. 충렬왕 10년(1284) 서산군(瑞山郡)으로 부활, 지군사(知郡事)를 두었고 이어 충렬왕 34년(1308) 서주목(瑞州牧)로 승격하였다. 충선왕 2년(1310) 서령부(瑞寧部)로, 후에 또 지서주사(知瑞州事)로 격하했다. 조선 태종 13년(1413) 서산군으로 개편되었다.

서산시는 선사 시대부터 중요한 곳에 위치해 해미 휴암리, 대산읍 대로리 등에서 사람들이 살았던 유적들이 발견되고있다.^[1] 이후 신석기, 청동기 시대에도 사람들이 많이 살았으며, 청동기 시대에는 마한의 속국 중 하나로 속해 치리국국(致利鞠國)이라 불렸다.^[1] 삼국시대에 와서는 백제에 속해 중국과 일본, 동남아와의 해상요충지로 백제가 아시아 여러 지역을 실질적으로 지배하던때의 해상요충지였다.^[2] 특히 행정상으로는 기군(基郡)이였으며 새로운 문화가 제일 먼저 형성돼 마애삼존불상, 보원사지 등 불교문화를 이끌었다.^[1]

《대동여지도》

신라 때에는 부성군(富城郡)으로 고치고 고려 인종 21년(1143)에는 현령(縣令)을 두었다가 충렬왕 10년(1284) 서산군으로 승격, 지군사(知郡事)를 두었고 이어 충렬왕 34년(1308) 서주목(瑞州牧)로 승격하였다. 충선왕 2년(1310) 서령부(瑞寧部)로, 후에 또 지서주사(知瑞州事)로 격하했고, 조선 태종 13년(1413) 서산군으로 되었다.

• 1895년 음력 윤5월 1일 홍주부 서산군, 태안군, 해미군^[3]
• 1896년 8월 4일 충청남도 서산군, 태안군, 해미군^[4]
• 1914년 4월 1일 서산군, 태안군, 해미군을 서산군으로 통폐합하였다.^[5] (2읍 16면)
• 1917년 10월 1일 서령면(瑞寧面)을 서산면으로, 지성면(枳城面)을 해미면으로 개칭하였다.^[6]
• 1942년 10월 1일 서산면을 서산읍으로 승격하였다.^[7] (1읍 19면)
• 1957년 11월 6일 대호지면, 정미면을 당진군에 편입하였다.^[8] (1읍 17면)
• 1973년 7월 1일 태안면을 태안읍으로 승격하였다.^[9]
• 1980년 12월 1일 안면면을 안면읍으로 승격하였다.^[10] (3읍 15면)
• 1983년 2월 15일 보령군 오천면 삽시도리 중 내파수도·외파수도·외도를 안면읍에 편입하고, 서산군 고북면 대사리를 홍성군 갈산면에 편입하였다.^[11]
• 1986년 고남출장소를 고남면으로 승격하였다. (3읍 16면)
• 1987년 1월 1일 이북면을 이원면으로 개칭하였다.
• 1989년 1월 1일 서산읍 일원을 관할로 서산시를, 태안읍·안면읍·고남면·남면·근흥면·소원면·원북면·이원면 일원을 관할로 태안군을 각각 분리, 설치하였다.^[12] (10면)
• 1991년 12월 1일 대산면을 대산읍으로 승격하였다. (1읍 9면)
• 1995년 1월 1일 서산시 일원과 서산군 일원을 관할로 도농복합형태의 서산시를 설치하였다.^[13]
• 2011년 7월 4일 대산읍 독곳리를 독곶리로 개칭하였다.^[14]

조선총독부령 제111호로 다음과 같이 행정구역이 정해졌다.

조선총독부령 제111호
구 행정구역		신 행정구역
서산군	군내면(郡內面), 대사동면(大寺洞面), 오산면(吾山面), 율곶면(栗串面)	서령면 일원
	일도면(一導面), 이도면(二導面)	대산면 일원
	인정면(仁政面), 노지면(蘆旨面)	인지면 일원
	동음암면(冬音岩面), 두치면(豆峙面), 동암면(銅岩面)	음암면 일원
	마산면(馬山面), 화변면(禾邊面)	부석면 일원
	문현면(文峴面), 영풍창면(水豐倉面)	팔봉면 일원
해미군	동면(東面), 남면(南面)	지성면 일원
	서면(西面)	대호지면 일원
	상도면(上道面), 하도면(下道面)	고북면 일원
	일도면(一道面), 염솔면(鹽率面)	정미면 일원
	이도면(二道面), 부산면(夫山面), 운천면(雲川面)	운산면 일원
태안군	군내면(郡內面), 동일면(東一面), 동이면(東二面)	태안면 일원
	근서면(近西面), 안흥면(安興面)	근흥면 일원
	이원면(梨園面), 북일면(北一面)	이북면 일원
	원이면(遠二面), 북이면(北二面)	원북면 일원
	원일면(遠一面), 소근면(所斤面)	소원면 일원
	안상면(安上面), 안하면(安下面)	안면면 일원
	남면(南面)	남면 일원

1914년 행정구역을 현재와 비교하면 다음의 표와 같다.^[15]

20면 - 서령면, 인지면, 부석면, 팔봉면, 음암면, 대산면, 성연면, 지곡면, 태안면, 소원면, 원북면, 근흥면, 이북면, 남면, 안면면, 지성면, 운산면, 대호지면, 정미면, 고북면

태안면이 태안읍으로 승겨되면 다음과 같이 행정구역이 변화되었다.

대통령령 제6543호
구 행정구역	신 행정구역
태안면 일원	태안읍
인지면 갈산리	서산시 일부
음암면 수석리