L'oxyde d'hafnium(IV), ou dioxyde d'hafnium, ou encore hafnie, est un composé chimique de formule brute HfO2. Il se présente sous la forme d'un solide incolore et est pratiquement insoluble dans l'eau et les solvants organiques. Il s'agit d'un isolant électrique ayant une largeur de bande interdite d'environ 6eV[3]. C'est le composé le plus commun et le plus stable de l'hafnium, ainsi qu'un intermédiaire de certains procédés de production d'hafnium métallique. On peut l'obtenir par chauffage de 600 à 1 000 °C de l'hydroxyde, de l'oxalate, du sulfate ou de l'oxychlorure d'hafnium.
L'oxyde d'hafnium est également testé depuis quelques années comme amplificateur de radiothérapie dans le traitement de cancers solides[7]. Un premier essai de phase II/III a démontré son efficacité[8].
↑(en) John Robertson, « Band offsets of wide-band-gap oxides and implications for future electronic devices », Journal of vacuum Science & Technology B, vol. 18, no 3, , p. 1785 (lire en ligne)DOI10.1116/1.591472
↑(en) G. D. Wilk, R. M. Wallace et J. M. Anthony, « High-κ gate dielectrics: Current status and materials properties considerations », Journal of Applied Physics, vol. 89, no 10, , p. 5243 (lire en ligne)
↑(de) Nivole Ahner, Mit HFO2 voll CMOS-kompatibel, elektronik industrie,
↑(en) S Bonvalot, P L Rutkowski, J Thariat et S Carrere, « LBA66A phase II/III trial of hafnium oxide nanoparticles activated by radiotherapy in the treatment of locally advance soft tissue sarcoma of the extremity and trunk wall », Annals of Oncology, vol. 29, no suppl_8, (ISSN0923-7534 et 1569-8041, DOI10.1093/annonc/mdy424.081, lire en ligne, consulté le )