Kuigi Preisimaal oli pikka aega olnud territoorium Vestfaalis, eelistas kuningas Friedrich Wilhelm III esmalt liidendada Saksimaa kuningriigi. Alles Viini kongressil aastal 1815 otsustati, et luuakse Vestfaali provints. Provints moodustati järgnevatest territooriumidest:
Pärast teise maailmasõja lõppu liideti provints aastal 1946 Reini provintsi põhjaosaga, et moodustada Nordrhein-Westfaleni liidumaa, aastal 1947 lisati veel endine Lippe liidumaa.