Pro tio, ke rapidaj elektronoj havas multe pli etan ondolongon ol la videbla lumo, kaj la pligrandigo-faktoro de mikroskopo estas limigita per la ondolongo, elektrona mikroskopo atingas multe pli grandan pligrandigon (nuntempe proksimume 0,1 nanometroj) ol optika mikroskopo laboranta per videbla lumo (proksimume 0,2 mikrometroj).
Tekniko
La ĉefaj eroj de elektrona mikroskopo estas:
elektrona kanono, kiu kreas liberajn elektronojn kaj rapidigas ilin en la direkton de ringoforma anodo. Inter anodo kaj katodo estas elektra tensio de - laŭ la speco de mikroskopo - inter malmultaj kilovoltoj ĝis 3 megavoltoj.
elektronaj lensoj, kiuj influas la flugovojon de la elektrodoj. Plej ofte uziĝas magnetaj lensoj, ene de la elektrona kanono parte ankaŭ elektrostatikaj.
vakuumo, kiu certigas, ke la elektrona kanono bone funkcias kaj la elektronoj dum sia vojo ne misvojas pro kolizio kun aeromolekuloj,
fiksigilo por la objekto, kiu certigas stabilan poziciigon de la objekto, kaj deziratan ŝanĝiĝon de tiu poziciigo,
La unua lenso funkcianta per magneta forto estis konstruita en 1926 de Hans Busch.
La unua elektrona mikroskopo estis konstruita en 1931 de Ernst Ruska kaj Max Knoll, ĝi estis
transmisia elektronmikroskopo (TEM), kies radioj trairis la specimenon. La unuaj specimenoj bildigitaj estis kristalecaj metalstrukturoj. Pro tiu laboro Ernst Ruska ricevis la Nobel-premion pri fiziko en 1986.
En 1938 Ruska konstruis la unuan vendeblan elektronmikroskopon por firmao Siemens.
