Die Gruppe besteht aus etwa zehn Inseln, die von zwei nahegelegenen Korallenriffen umgeben sind. Die gleichnamige Hauptinsel Ayau liegt im Süden der Inselgruppe. Administrativ bildet die Hauptinsel einen eigenen Distrikt (Kabupaten), während die anderen Inseln als Distrikt Ayauinseln (Kepulauan Ayau) zusammengefasst werden.
