المجهر الأنبوبي الماسح (بالإنجليزية: scanning tunneling microscope (STM)) تبلغ قوة التكبير في المجهر الانبوبي الماسح فأمكن حوالي مئة مليون مرة، يتصل به حاسوب يعمل على تحليل المعلومات الواردة إليه ليظهر صورة العينة بأبعادها الثلاثة.
وكان عام 1981 قفزة كبيرة حيث تمكن العالمان الألمانيان من تصوير ذرة بمفردها لمواد مختلفة. ويستخدم المجهر الانبوبي الماسح الحساسية الكبيرة للتخلل النفقي الكمومي مع المسافة، حيث يتزايد التخلل النفقي طبقا للدالة الأسية الطبيعية كلما صغرت المسافة.
فعندما يقترب سن المجهر من السطح الموصل بجهد كهربي فمن الممكن قياس المسافة بين السن وسطح العينة عن طريق قياس تيار الإلكترونات بين السن والسطح.
وباستخدام قضيب له خاصية الانضغاطية الكهربائية لتشكيل سن المجهر الانبوبي الماسح فأمكن ضبط المسافة بين السن والسطح بتغير طول القضيب تلقائيا بحيث يصبح تيار الإلكترونات النفقي بينهما ثابتا. وبذلك يمكن تسجيل تغير الجهد الكهربي الموصل بالقضيب الانضغاطي الكهربائي واستخدامه لتصوير السطح الموصل.[2]
وصلت دقة المجاهر الانبوبية الماسحة الحديثة حالياً إلى 0.001 نانو متر، أي نحو 1% من قطرالذرة.
[3]
