Dichlorosilane
Silicic dichloride dihydride
1S/Cl2H2Si/c1-3-2/h3H2 YKey: MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N Y
ثنائي كلورو السيلان (H2SiCl2) (اختصاراً DCS) وعادة ما يخلط مع الأمونيا (NH3) في غرف الترسيب الكيميائي للبخار (LPCVD) لإنتاج نيتريد السيليكون في معالجة أشباه الموصلات.[1][2]
عند استخدام تركيز عالي من ثنائي كلورو سيلان : أمونيا (مثلاً، 16 :1)، عادة ماينتج أفلام (طبقة رقيقة) نيتريد منخفضة الإجهاد.
وهو وسيط بين السيلان ورباعي كلوريد السيليكون.
هذه بذرة مقالة عن الكيمياء بحاجة للتوسيع. فضلًا شارك في تحريرها.