انجنب ماريا آنا لزوجها غيلاوم حوالي 6 بنات، لم تستطيع انجاب ابن، صدر القانون على تحويل أبناء الدوق من البروتستانتية (مذهب الدوق) إلى الكاثوليكية هو مذهب الدوقة وغالبية سكان لوكسمبورغ:-
إليزابيث (1950-1901) تزوجت من الأمير لودفيغ فيليب من ثورن وتاكسيس، لهم ذرية.
صوفي (1941-1902) تزوجت من إرنست هاينريش من ساكسونيا، لهم ذرية.
أصبح غيلاوم دوقاً بعد وفاة والده في 1905، وكان أخر ذكر من أسرة ناساو، أصبحت ابنتها الكبرى الوريثة في عام 1907، وبعد وفاته أصبحت الدوقة الكبرى حتى أُجبرت على التنازل إلى شقيقتها الثانية شارلوت التي أصبحت الدوقة منذ عام 1919.
ماري آنا أصبحت وصية على زوجها أثناء مرضها بـ عضال بين عامي 1908-1912، ثم أصبحت وصية على ابنتها الكبرى ماري أديلايد في 1912.
توفيت الأرملة ماريا آنا في المنفى نيويورك في 31 يوليو 1942، بعد فرار العائلة المالكة بسبب احتلال الألماني خلال الحرب العالمية الثانية.