التفاصيل الصناعية لدائرة متكاملة مصنعة بالتقنية الدقيقة من خلال أربع طبقات من النحاس المترابط والمستوي، وصولا إلى السيليكون المتعدد (الوردي) والاوعية (رمادي) والطبقة السفلى (الخضراء).
التصنيع الدقيق أو الإنتاج الدقيق (بالإنجليزية: microfabrication or micromanufacturing) هو مصطلح يستخدم لوصف عمليات تصنيع هياكل مصغرة، من أحجام ميكرومتر أصغر حجما.[1][2][3] تاريخيا كان المصطلح عاما ويستخدم في منذ وقت قصير لصناعة أشباه الموصلات في تصنيع الدوائر المتكاملة، وقد تم تغطية هذه العمليات من جانب مصطلح آخر وهو تصنيع أجهزة أشباه الموصلات أو تصنيع أشباه الموصلات.
التقنية ساهمت في مجال التصغير (بالإنجليزية: Miniaturization ) لمختلف الأجهزة في العديد من مجالات العلوم والهندسة مثل: الفيزياء والكيمياء وعلم المواد، علم الحاسوب، والهندسة فائقة الدقة وعمليات التصنيع، وتصميم المعدات. كما أدت أيضا إلى نشوء أنواع مختلفة من البحوث المتعددة الاختصاصات.
نشأت تقنية الصناعة الدقيقة من صناعة الإلكترونيات الدقيقة، وعادة ما تكون الأجهزة الدقيقة مصنوعة على رقائق السليكون على الرغم من أن الزجاج والبلاستيك ومواد أخرى عديدة قيد الاستخدام حاليا أيضا وتستخدم كرقاقة (وايفر).
خطوات عمليات ألتصنيع ألدقيق
الركائز
الترسيب أو النمو
الزخرفة أو القولبة
الخراطة
التقطيع الدقيق
النظافة في عملية تصنيع الرقائق
تجري عملية ألتصنيع الدقيق في الغرف النظيفة حيث تم تنقية الهواء من تلوث الجسيمات ودرجة الحرارة والرطوبة والاهتزازات والاضطرابات الكهربائية وتحت رقابة صارمة جدا. الدخان والغبار والبكتيريا والخلايا كلها مقاربة للميكرومتر في القياس ووجودها سوف يدمر وظائف ألأجهزة الدقيقة لذا تعتببر من الملوثات المؤثرة على هذه الصناعات الدقيقة.
^Engel, U.؛ Eckstein, R. (2002). "Microforming - From Basic research to its realization". Journal of Materials Processing Technology. 125–126 ع. 2002: 35–44. DOI:10.1016/S0924-0136(02)00415-6.
^Fu, M.W.؛ Chan, W.L. (2014). "Chapter 4: Microforming Processes". Micro-scaled Products Development via Microforming: Deformation Behaviours, Processes, Tooling and its Realization. Springer Science & Business Media. ص. 73–130. ISBN:9781447163268.
